Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.

Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.

Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad  y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.

El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.

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• Máxima precisión y sensibilidad.
• Diseño modular.
• Rango espectral: 190-2100 nm
• Software totalmente integrado para medición, modelado con  operaciones automáticas.
• Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
• Rugosidad de superficie e interfaz.
• Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
• Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
• Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
• Matriz de Mueller.

Descubra un mundo completamente nuevo de información con el espectrómetro de emisión óptica de descarga luminiscente GD-OES.

El GD-Profiler 2 ™ proporciona un análisis rápido y simultáneo de todos los elementos de interés, incluyendo gases como nitrógeno, oxígeno, hidrógeno y cloro.

Es la herramienta ideal para estudios de procesos y caracterización de películas delgadas y gruesas. Equipado con una fuente de RF que puede operar en modo pulsado para el análisis de muestras frágiles.

El campo de aplicaciones del GD-Profiler 2 ™ va desde estudios de corrosión hasta control de proceso de recubrimiento PVD, incluyendo películas delgadas de celdas fotovoltaicas y control de calidad en fabricación de LEDs e investigación avanzada de materiales en Universidades, así como en laboratorios de Investigación Industrial. también aplica para el análisis elemental en la industria de metales.

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• Generador de RF estándar de Clase E optimizado para tener estabilidad y  forma del cráter, que hace posible un análisis de superficie real.
• El Generador RF se puede pulsar con adquisición sincronizada para obtener resultados óptimos en muestras frágiles.
• El uso de una fuente de RF permite el análisis de capas y materiales convencionales y/o no convencionales. así como conductores y no conductores de electricidad.
• Su óptica simultánea proporciona una cobertura espectral completa de 110 a 800 nm, incluido el ultravioleta profundo para el  análisis de H, O, C, N y Cl.
• Rejillas o Grating de difracción originales de HORIBA aseguran el mayor rendimiento y resolución de luz para una máxima eficiencia y sensibilidad.
• Sistema de detección HDD patentada que proporciona velocidad y sensibilidad en la detección sin comprometer el desempeño del sistema.
• Medición en línea de la profundidad del cráter y la tasa de erosión con interferómetro incorporado patentado.
• Compartimento de muestras de fácil acceso que ofrece mucho espacio para manipular las muestras.
• Potente software QUANTUM ™ con herramienta de redacción de informes Tabler.
• Puntero láser CenterLite (patente pendiente) para la carga precisa de la muestra.
• Opción de monocromador disponible solo en HORIBA, proporciona la herramienta perfecta para aumentar la flexibilidad del instrumento agregando "n + 1" elementos. 

Elipsómetro espectroscópico para una medición simple de películas delgadas.

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película delgada que permite un análisis completamente automático de muestras de película delgada con la simple operación de un botón.

El análisis de la muestra toma solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente las características de una película delgada, incluidos espesores de película, constantes ópticas, rugosidad y las inhomogeneidades de la película.

El Auto SE es un instrumento con muchas funciones que incluye un porta muestras  XYZ automático, imágenes en tiempo real del sitio de medición y selección automática del tamaño del spot. Cuenta con muchos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE, se destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hacen del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición de película delgada de rutina y el control de calidad.

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• Análisis de películas delgadas simplificado con rutinas automáticas
• Sistema con muchas funciones
• Visión de muestra
• Microspot hasta 25x60 µm
• Gran variedad de accesorios

Técnica de perfilado de profundidad ultrarrápida, sensible y de alta resolución.

Plasma Profiling TOFMS plantea las necesidades de los científicos de materiales en una amplia gama de áreas de aplicación. PP-TOFMS proporciona una rápida distribución de profundidad elemental de cualquier material inorgánico.

La velocidad y la facilidad de uso de PP-TOFMS permiten reducir el tiempo de optimización de los procesos de crecimiento, ya que muchos investigadores se esfuerzan por reducir el tiempo desde el descubrimiento hasta la aplicación de nuevos materiales. La cobertura total simultánea de TOFMS disponible para cada punto de profundidad permite la detección de contaminación no sospechada. Esto es clave para el análisis de fallas y la optimización de procesos de película delgada que tienden a no basarse en métodos de grado ultra alto (es decir, impresión por chorro de tinta).

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• Compacto.
• Rápido.
• Fácil de Usar.
• Aplicación general en ciencia de materiales.
• Multi usuario.

Smart SE, elipsómetro espectroscópico potente y a bajo costo.

El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de película fina.

 Caracteriza espesores de película delgada desde unos pocos Angstroms hasta 20 µm, constantes ópticas (n, k) y propiedades de estructura de película delgada (como rugosidad, capas ópticas graduadas y anisotrópicas, etc.).

El rango espectral de 450 a 1000 nm se cubre en unos pocos segundos, los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. 

El software integra dos niveles para realizar tanto análisis de rutina con recetas predefinidas como análisis avanzado con modelado elipsométrico de última generación.

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• Rápido y Preciso
• Fácilmente Actualizable.
• Capacidad para visualización del spot en la muestra.
• Robustez y facilidad de operación

A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.

Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm)

Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).

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• Alta sensibilidad en longitudes de onda VUV
• 2 fuentes de energía de alta potencia
• Ópticas de alto rendimiento
• 1 modulador fotoelástico de CaF2
• 2 monocromadores modernos
• Carga rápida de muestras
• Purga rápida
• Mínimo consumo de nitrógeno
• Medición muy rápida
• Dos modos de funcionamiento: bajo nitrógeno o vacío primario