ELIPSOMETRIA ESPECTROSCOPICA

Con la creciente necesidad de caracterizar sistemas de varias capas y multicompuestos, en los últimos años, las áreas que demandan la utilización de la elipsometría espectroscópica están en aumento. Los tratamientos de superficie, semiconductores, investigación de materiales avanzados, y la investigación de los fenómenos físico-químicos en las interfaces requieren técnicas no destructivas y muy sensibles de caracterización de películas delgadas. HORIBA Scientific ofrece una amplia gama de Elipsómetros Espectroscópicos de alto rendimiento y versatilidad. Estos, han sido resultado de la colaboración con prestigiosos laboratorios; son utilizados alrededor del mundo en universidades, centros de investigación y en la producción de semiconductores y pantallas LCD, LED etc.


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UVISEL Plus

Availability: Out of stock

Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.

Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.

Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad  y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.

El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.

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  • Máxima precisión y sensibilidad.
  • Diseño modular.
  • Rango espectral: 190-2100 nm
  • Software totalmente integrado para medición, modelado con  operaciones automáticas.
  • Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
  • Rugosidad de superficie e interfaz.
  • Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
  • Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
  • Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
  • Matriz de Mueller.

Auto SE

Availability: Out of stock

Elipsómetro espectroscópico para una medición simple de películas delgadas.

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película delgada que permite un análisis completamente automático de muestras de película delgada con la simple operación de un botón.

El análisis de la muestra toma solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente las características de una película delgada, incluidos espesores de película, constantes ópticas, rugosidad y las inhomogeneidades de la película.

El Auto SE es un instrumento con muchas funciones que incluye un porta muestras  XYZ automático, imágenes en tiempo real del sitio de medición y selección automática del tamaño del spot. Cuenta con muchos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE, se destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hacen del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición de película delgada de rutina y el control de calidad.

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  • Análisis de películas delgadas simplificado con rutinas automáticas
  • Sistema con muchas funciones
  • Visión de muestra
  • Microspot hasta 25x60 µm
  • Gran variedad de accesorios

Smart SE

Availability: Out of stock

Smart SE, elipsómetro espectroscópico potente y a bajo costo.

El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de película fina.

 Caracteriza espesores de película delgada desde unos pocos Angstroms hasta 20 µm, constantes ópticas (n, k) y propiedades de estructura de película delgada (como rugosidad, capas ópticas graduadas y anisotrópicas, etc.).

El rango espectral de 450 a 1000 nm se cubre en unos pocos segundos, los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. 

El software integra dos niveles para realizar tanto análisis de rutina con recetas predefinidas como análisis avanzado con modelado elipsométrico de última generación.

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  • Rápido y Preciso
  • Fácilmente Actualizable.
  • Capacidad para visualización del spot en la muestra.
  • Robustez y facilidad de operación

UVISEL 2 VUV

Availability: Out of stock

A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.

Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm)

Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).

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  • Alta sensibilidad en longitudes de onda VUV
  • 2 fuentes de energía de alta potencia
  • Ópticas de alto rendimiento
  • 1 modulador fotoelástico de CaF2
  • 2 monocromadores modernos
  • Carga rápida de muestras
  • Purga rápida
  • Mínimo consumo de nitrógeno
  • Medición muy rápida
  • Dos modos de funcionamiento: bajo nitrógeno o vacío primario