Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.
Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.
Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.
El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.
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- Máxima precisión y sensibilidad.
- Diseño modular.
- Rango espectral: 190-2100 nm
- Software totalmente integrado para medición, modelado con operaciones automáticas.
- Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
- Rugosidad de superficie e interfaz.
- Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
- Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
- Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
- Matriz de Mueller.