DEFINICIÓN

La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.


INFORMACIÓN OBTENIDA

  • Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
  • Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
  • Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.

VENTAJAS

  • Técnica No destructiva y
  • De No Contacto
  • Muy sensible,
  • Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
  • Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
  • Rápidas mediciones cinéticas.
  • Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
  • No se requiere preparación de la muestra.
  • Fácil de usar.

ALTA RESOLUCIÓN ESPACIAL

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