UVISEL Plus
Referencia: UVISEL Plus
Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.
Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.
Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.
El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.
- Máxima precisión y sensibilidad.
- Diseño modular.
- Rango espectral: 190-2100 nm
- Software totalmente integrado para medición, modelado con operaciones automáticas.
- Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
- Rugosidad de superficie e interfaz.
- Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
- Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
- Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
- Matriz de Mueller.
DEFINICIÓN
La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.
INFORMACIÓN OBTENIDA
- Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
- Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
- Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.
VENTAJAS
- Técnica No destructiva y
- De No Contacto
- Muy sensible,
- Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
- Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
- Rápidas mediciones cinéticas.
- Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
- No se requiere preparación de la muestra.
- Fácil de usar.
ALTA RESOLUCIÓN ESPACIAL
HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización de películas delgadas.
UVISEL Plus
Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.
Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.
Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.
El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.
- Máxima precisión y sensibilidad.
- Diseño modular.
- Rango espectral: 190-2100 nm
- Software totalmente integrado para medición, modelado con operaciones automáticas.
- Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
- Rugosidad de superficie e interfaz.
- Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
- Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
- Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
- Matriz de Mueller.