UVISEL 2 VUV

Referencia: UVISEL 2 VUV

A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.

Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm)

Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).

Ver Más

  • Alta sensibilidad en longitudes de onda VUV
  • 2 fuentes de energía de alta potencia
  • Ópticas de alto rendimiento
  • 1 modulador fotoelástico de CaF2
  • 2 monocromadores modernos
  • Carga rápida de muestras
  • Purga rápida
  • Mínimo consumo de nitrógeno
  • Medición muy rápida
  • Dos modos de funcionamiento: bajo nitrógeno o vacío primario

DEFINICIÓN

La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.

INFORMACIÓN OBTENIDA

  • Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
  • Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
  • Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.

VENTAJAS

  • Técnica No destructiva y
  • De No Contacto
  • Muy sensible,
  • Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
  • Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
  • Rápidas mediciones cinéticas.
  • Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
  • No se requiere preparación de la muestra.
  • Fácil de usar.

ALTA RESOLUCIÓN ESPACIAL

HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterizacion de películas delgadas.

UVISEL 2 VUV