X-ray Analytical Microscope.

La evolución de μXRF!,  con sensibilidad mejorada y nueva tecnología de imagen, es una combinación que logra el análisis a alta velocidad de muchos materiales en una sola unidad.

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• Operación de análisis simple sin necesidad de preparaciones complejas y análisis elemental no destructivo.
• Permite acceder rápidamente a los puntos de medición  a través de una observación óptica de alta precisión, incluso en el rango microscópico.
• Un  software muy completo con una gran variedad de herramientas   para el  análisis de imágenes.

Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.

Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces.

Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad  y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.

El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.

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• Máxima precisión y sensibilidad.
• Diseño modular.
• Rango espectral: 190-2100 nm
• Software totalmente integrado para medición, modelado con  operaciones automáticas.
• Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
• Rugosidad de superficie e interfaz.
• Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
• Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción α, banda prohibida óptica.
• Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
• Matriz de Mueller.

Fotoluminiscencia y catodoluminiscencia Raman.

La solución acoplada de fibra todo en uno, en donde el R-CLUE ofrece análisis de imágenes y espectroscopia Raman, fotoluminiscencia, catodoluminiscencia co-localizados.

El R-CLUE se beneficia del conocimiento extendido de HORIBA Scientific en espectroscopía Raman y PL con componentes ópticos probados en campo, lo que garantiza la estabilidad óptica, la reproducibilidad y la eficiencia.

Gracias a su diseño y tamaño compacto dentro y fuera del SEM y sus módulos de espectroscopia, puede ser instalado en una amplia gama de cámaras de muestras. Su operación está completamente automatizada y controlada por computador.

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• Interfaz de fibra óptica acoplada.
• Excitaciones co-localizadas con láser y haz de electrones.
• Totalmente controlado por computador.
• Múltiples longitudes de onda láser para Raman.
• Filtros Raman de inyección-rechazo.
• Campo actualizable.
• Cámara de video incorporada.

Analizador de fluorescencia de rayos X.

HORIBA ha vendido la serie XGT-WR de analizadores EDXRF durante muchos años, proporcionando mediciones de detección de muestras que contienen elementos peligrosos como Pb, Cd, Hg, Cr, Br, Sb, As para RoHS, ELV y Cl en  aplicaciones libres de halógenos.

HORIBA ha desarrollado ahora el nuevo analizador MESA-50 EDXRF, basado en su larga experiencia en los requisitos y necesidades de los clientes. El MESA-50 proporciona un funcionamiento sencillo y excelente rendimiento, incluye tres diámetros de análisis, adecuados para diferentes muestras, desde cables delgados y piezas electrónicas hasta muestras a granel. 

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• Rápido:

El de silicio (SDD) reduce drásticamente los tiempos de medición y proporcionando mayor sensibilidad para el análisis de alto rendimiento

• Pequeño:

De tamaño reducido y liviano

Fuente de alimentación con batería interna.

• Sencillo:

Mantenimiento de rutina reducido. (No requiere LN2) ni bomba de vacío, proceso de medición sencillo e intuitivo. 

• Inteligente:

Interfaces de usuario multilenguaje.

Herramienta de gestión de datos Excel®

• Seguro:

No se preocupe por las fugas de rayos X.

Elipsómetro espectroscópico para una medición simple de películas delgadas.

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película delgada que permite un análisis completamente automático de muestras de película delgada con la simple operación de un botón.

El análisis de la muestra toma solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente las características de una película delgada, incluidos espesores de película, constantes ópticas, rugosidad y las inhomogeneidades de la película.

El Auto SE es un instrumento con muchas funciones que incluye un porta muestras  XYZ automático, imágenes en tiempo real del sitio de medición y selección automática del tamaño del spot. Cuenta con muchos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE, se destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hacen del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición de película delgada de rutina y el control de calidad.

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• Análisis de películas delgadas simplificado con rutinas automáticas
• Sistema con muchas funciones
• Visión de muestra
• Microspot hasta 25x60 µm
• Gran variedad de accesorios

Catodoluminiscencia hiperespectral versátil.

La solución de acoplamiento directo H-CLUE ofrece el máximo rendimiento para el análisis de imágenes de catodoluminiscencia y espectroscopía.

Incorpora componentes ópticos de HORIBA Scientific probados en campo, el H-CLUE supera a su competencia en términos de sensibilidad, con rangos espectrales desde FUV hasta NIR extendido.

Su modularidad y versatilidad se destacan ofreciendo  cualquier otra posibilidad de imágenes CL como: CL polarizado, CL RGB, CL angular resuelto (AR-CL) y CL resuelto en el tiempo ( TR-CL).

Controlado por el paquete de software Simple y Poderoso Labspec 6, el H-CLUE presenta funcionalidades avanzadas únicas para imágenes rápidas y análisis espectroscópico.

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• Control completamente automatizado
• RPM motorizado con ajuste fino
• Sin cambio cromático
• Configuraciones personalizadas: CL resuelto en ángulo, CL resuelto en el tiempo, polarización, ruedas de filtro
• Imágenes y espectroscopia de DUV a NIR con hasta 5 detectores
• Espectrómetros de larga distancia focal

Analizador de fluorescencia de rayos X

Con el fin de cumplir con las  RoHS/ELV y el análisis de  elementos peligrosos, HORIBA en el  2012, lanzó el  analizador de fluorescencia de rayos X intuitivo MESA-50.

El cual se hizo muy popular en muy poco tiempo, y en 2013 se agregó a la serie un nuevo tipo de MESA-50 con una cámara de muestra muy amplia que permite el análisis de muestras de gran tamaño. 

El MESA-50K está equipado con el sofisticado detector libre de LN2, la función de análisis As / Sb y de película multicapa FPM disponibles como opciones.

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• Rápido:

El de silicio (SDD) reduce drásticamente los tiempos de medición y proporcionando mayor sensibilidad para el análisis de alto rendimiento

• Pequeño:

De tamaño reducido y liviano

Fuente de alimentación con batería interna.

• Sencillo:

Mantenimiento de rutina reducido. (No requiere LN2) ni bomba de vacío, proceso de medición sencillo e intuitivo. 

• Inteligente:

Interfaces de usuario multilenguaje.

Herramienta de gestión de datos Excel®

• Seguro:

No se preocupe por las fugas de rayos X.

Smart SE, elipsómetro espectroscópico potente y a bajo costo.

El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de película fina.

 Caracteriza espesores de película delgada desde unos pocos Angstroms hasta 20 µm, constantes ópticas (n, k) y propiedades de estructura de película delgada (como rugosidad, capas ópticas graduadas y anisotrópicas, etc.).

El rango espectral de 450 a 1000 nm se cubre en unos pocos segundos, los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. 

El software integra dos niveles para realizar tanto análisis de rutina con recetas predefinidas como análisis avanzado con modelado elipsométrico de última generación.

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• Rápido y Preciso
• Fácilmente Actualizable.
• Capacidad para visualización del spot en la muestra.
• Robustez y facilidad de operación

Catodoluminiscencia hiperespectral compacta.

El F-CLUE es la solución con óptica acoplada que ofrece una interfaz flexible para el análisis de espectroscopía e imágenes de catodoluminiscencia.

Gracias a su tamaño robusto, ultra compacto y sus módulos de espectroscopía, puede ser  instalado incluso en microscopios muy ocupados y / o en entornos industriales hostiles o condiciones extremas. Como toda la serie CLUE, su interfaz de captura  compacta, completamente retráctil ofrece la posibilidad de instalar CL en cualquier microscopio comercial sin ninguna restricción en su rendimiento.

El microposicionamiento preciso asistido por video del espejo, permite optimizar la eficiencia de adquisición y garantizar el mejor rendimiento y reproducibilidad de la medición de CL. Controlado por el Simple y poderoso paquete de software Labspec 6, el F-CLUE presenta funcionalidades avanzadas únicas para imágenes rápidas y análisis de espectroscopía.

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• Imágenes y / o CL hiperespectral.
• Interfaz de fibra óptica resistente
• Selección de espejo retráctil elipsoidal o parabólico para adaptarse a los tipos de muestras y aplicaciones
• Potencializado por el software LabSpec 6TM
• Espectrómetro totalmente motorizado.
• Filtros RGB opcionales

A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.

Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm)

Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).

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• Alta sensibilidad en longitudes de onda VUV
• 2 fuentes de energía de alta potencia
• Ópticas de alto rendimiento
• 1 modulador fotoelástico de CaF2
• 2 monocromadores modernos
• Carga rápida de muestras
• Purga rápida
• Mínimo consumo de nitrógeno
• Medición muy rápida
• Dos modos de funcionamiento: bajo nitrógeno o vacío primario

Catodoluminiscencia de imagen rápida.

El i-CLUE ofrece imágenes de catodoluminiscencia con el  mayor rendimiento. La forma más rápida y sencilla de recopilar imágenes de CL que proporciona un potente análisis estructural de su muestra a escala nanométrica.

Basado en un diseño modular de fibra óptica, el i-CLUE es la solución que permite su actualización posterior al sistema de análisis CL hiperespectral completo F-CLUE.

Gracias al rendimiento de alta apertura numérica y el espejo de adquisición de baja rugosidad, junto a la adquisición y detección optimizadas, el  i-CLUE ofrece una sensibilidad hasta 10 veces mayor en comparación con las soluciones de imagen CL estándar.

Su interfaz compacta y completamente retráctil, hacen que el i-CLUE sea una solución conveniente que puede integrarse completamente en la mayoría de los microscopios electrónicos comerciales sin afectar su configuración original.

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• Detección de CL pancromática ultracompacta.
• Espejo manualmente retráctil
• Espejos elipsoidales para colección de amplio campo de visión.
• Potencializado por el software EM
• Pantalla táctil para control de imágenes