UVISEL 2 VUV
A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.
Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm)
Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).
- Alta sensibilidad en longitudes de onda VUV
- 2 fuentes de energía de alta potencia
- Ópticas de alto rendimiento
- 1 modulador fotoelástico de CaF2
- 2 monocromadores modernos
- Carga rápida de muestras
- Purga rápida
- Mínimo consumo de nitrógeno
- Medición muy rápida
- Dos modos de funcionamiento: bajo nitrógeno o vacío primario