HORIBA Scientific proporciona los espectrómetros para análisis superficial, perfiles de profundidad y el análisis de composición tanto de muestras conductoras como no conductoras, esto gracias a la fuente de radiofrecuencia de descarga luminiscente (RF-GD-OES). RF Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GD-OES) es una técnica reconocida para aplicaciones que involucran análisis superficial, la interacción de elementos en materiales y recubrimientos, así como la composición química de los materiales. Permite obtener perfiles de profundidad de múltiples elementos, incluyendo gases con excelente resolución de profundidad y sensibilidad.