Definición
La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.
Información obtenida
- Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
- Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
- Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.
Ventaja
- Técnica No destructiva y
- De No Contacto
- Muy sensible,
- Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
- Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
- Rápidas mediciones cinéticas.
- Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
- No se requiere preparación de la muestra.
- Fácil de usar.
Alta resolución espacial
HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización de películas delgadas.
- Máxima precisión y sensibilidad.
- Diseño modular.
- Rango espectral: 190-2100 nm
- Software totalmente integrado para medición, modelado con operaciones automáticas.
- Espesor de película fina de 1Å a 50 µm.
- Rugosidad de superficie e interfaz.
- Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas y graduadas.
- Datos ópticos derivados como: coeficiente de absorción ?, banda prohibida óptica.
- Propiedades del material: composición de la aleación compuesta, porosidad, cristalinidad, morfología y más.
- Matriz de Mueller.
