Definición
La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.
Información obtenida
- Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
- Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
- Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.
Ventajas
- Técnica No destructiva y
- De No Contacto
- Muy sensible,
- Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
- Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
- Rápidas mediciones cinéticas.
- Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
- No se requiere preparación de la muestra.
- Fácil de usar.
Alta resolución espacial
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