Auto SE
Referencia: Auto SE
Elipsómetro espectroscópico para una medición simple de películas delgadas.
El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película delgada que permite un análisis completamente automático de muestras de película delgada con la simple operación de un botón.
El análisis de la muestra toma solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente las características de una película delgada, incluidos espesores de película, constantes ópticas, rugosidad y las inhomogeneidades de la película.
El Auto SE es un instrumento con muchas funciones que incluye un porta muestras XYZ automático, imágenes en tiempo real del sitio de medición y selección automática del tamaño del spot. Cuenta con muchos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE, se destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hacen del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición de película delgada de rutina y el control de calidad.
- Análisis de películas delgadas simplificado con rutinas automáticas
- Sistema con muchas funciones
- Visión de muestra
- Microspot hasta 25x60 µm
- Gran variedad de accesorios
DEFINICIÓN
La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.
INFORMACIÓN OBTENIDA
- Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
- Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
- Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.
VENTAJAS
- Técnica No destructiva y
- De No Contacto
- Muy sensible,
- Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
- Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
- Rápidas mediciones cinéticas.
- Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
- No se requiere preparación de la muestra.
- Fácil de usar.
ALTA RESOLUCIÓN ESPACIAL
HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterizacion de películas delgadas.