ELIPSOMETRIA ESPECTROSCOPICA

Con la creciente necesidad de caracterizar sistemas de varias capas y multicompuestos, en los últimos años, las áreas que demandan la utilización de la elipsometría espectroscópica están en aumento. Los tratamientos de superficie, semiconductores, investigación de materiales avanzados, y la investigación de los fenómenos físico-químicos en las interfaces requieren técnicas no destructivas y muy sensibles de caracterización de películas delgadas. HORIBA Scientific ofrece una amplia gama de Elipsómetros Espectroscópicos de alto rendimiento y versatilidad. Estos, han sido resultado de la colaboración con prestigiosos laboratorios; son utilizados alrededor del mundo en universidades, centros de investigación y en la producción de semiconductores y pantallas LCD, LED etc.


DEFINICIÓN

La Elipsometría espectroscópica es una técnica óptica, que mide los cambios en el estado de polarización de la luz reflejada desde la superficie de la muestra. La sensibilidad y precisión de la técnica establecen los estándares para la caracterización de películas delgadas, de superficie así como de la interfaz con una resolución de angstroms.


INFORMACIÓN OBTENIDA

  • Espesor de películas delgadas desde unos pocos angstroms a decenas de micras.
  • Constantes ópticas (n, k), band-gap óptico.
  • Además del espesor de las películas delgadas y caracterización de las constantes ópticas, el análisis por elipsometría proporciona información rica en propiedades de los materiales tales como anisotropía, gradiente, morfología, cristalinidad, composición química y conductividad eléctrica.

VENTAJAS

  • Técnica No destructiva y
  • De No Contacto
  • Muy sensible,
  • Especialmente para películas ultradelgadas (<10 nm).
  • Monitoreo In situ en tiempo real de la deposición o grabado de películas delgadas,
  • Rápidas mediciones cinéticas.
  • Mapeo automático de muestras para áreas uniformes.
  • No se requiere preparación de la muestra.
  • Fácil de usar.


ALTA RESOLUCIÓN ESPACIAL

HORIBA Scientific ha inventado la nueva generación de elipsómetría espectroscópica de aplicación científica que ofrece el más alto nivel de rendimiento para nano y micro caracterización de capas. Incluye la más amplia gama de funciones automatizadas e integradas útiles para la investigación de toda la familia de materiales. UVISEL Spectroscopic Ellipsometer covering a range from FUV to NIR La gama elipsómetro UVISEL ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterizacion de películas delgadas.

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UVISEL Plus

Availability: Out of stock

Spectroscopic Ellipsometer from FUV to NIR: 190 to 2100 nm - Elipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm.

Es el elipsómetro de referencia para mediciones de película fina o delgada. El elipsómetro UVISEL plus presenta la mejor combinación de modularidad y rendimiento para la caracterización avanzada de películas delgadas, superficies e interfaces. 

Incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir con la mayor velocidad  y precisión FastAcq, basada en la doble modulación, diseñada para la caracterización de película finas del mundo real. Proporciona un potente diseño óptico para cubrir continuamente el rango espectral de 190 a 2100 nm. Los datos de alta calidad se entregan en todo el rango espectral en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución con una excelente relación señal / ruido.

El UVISEL Plus está controlado por la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft que son comunes a todos los Elipsómetros HORIBA.

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Auto SE

Availability: Out of stock

Spectroscopic Ellipsometer for Simple Thin Film Measurement - Elipsómetro espectroscópico para una medición simple de películas delgadas.

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película delgada que permite un análisis completamente automático de muestras de película delgada con la simple operación de un botón. El análisis de la muestra toma solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente las características de una película delgada, incluidos espesores de película, constantes ópticas, rugosidad y las inhomogeneidades de la película.

El Auto SE es un instrumento con muchas funciones que incluye un porta muestras  XYZ automático, imágenes en tiempo real del sitio de medición y selección automática del tamaño del spot. Cuenta con muchos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE, se destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hacen del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición de película delgada de rutina y el control de calidad.

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Smart SE

Availability: Out of stock

Powerful and Cost Effective Spectroscopic Ellipsometer - Smart SE, elipsómetro espectroscópico potente y a bajo costo.

El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de película fina.  Caracteriza espesores de película delgada desde unos pocos Angstroms hasta 20 µm, constantes ópticas (n, k) y propiedades de estructura de película delgada (como rugosidad, capas ópticas graduadas y anisotrópicas, etc.).

El rango espectral de 450 a 1000 nm se cubre en unos pocos segundos, los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. 

El software integra dos niveles para realizar tanto análisis de rutina con recetas predefinidas como análisis avanzado con modelado elipsométrico de última generación.

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UVISEL 2 VUV

Availability: Out of stock

A versatile spectroscopic ellipsometer covering a large range from VUV to NIR.

Una nueva generación de elipsómetro de modulación de fase para mediciones de VUV. diseñado para proporcionar las mediciones de película delgada más rápidas en el rango de longitud de onda más grande (147 a 2100 nm) 

Puede operar en 2 modos: Bajo nitrógeno o vacío primario con un diseño optimizado para el bajo consumo de nitrógeno (6L/min).

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